高纯气体管道的安装设计要点有哪些

　　想要有一个优质的高纯气体管道系统，就要在高纯气体管道装置上下功夫。管道装置除了配管和附件质料的挑选以外，***要做好的就是气体管道整体规划规划了。下面洛阳方特工贸就来跟大家说下高纯气体管道装置的规划要点有哪些？

　　一、从气体性质和纯度考虑：

　　1、关于不同特性的气体，应规划独立的供应区域。一般分为三个区：腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区，将相同性质的气体集中加强管理，可燃性气体区要特别规划防爆墙与走漏口，若空间缺少，可考虑将惰性气体放置与毒性/腐蚀性气体区。

　　2、对高纯气体纯度要求不同的用气设备，宜选用分等级高纯气体运送系统；也可选用同等级运送系统，但是在纯度要求高的用气设备邻近处设结束气体提纯设备。

　　3、依据用气设备的散布状况，高纯气体的管网不宜过大或许过长；宜选用不关闭的环形管路，在系统结束接二连三排放少数的气体，以便在管网中总有高纯气体流转，不会发生“死空间”引起高纯气体的污染。

　　4、管路中应削减不流动气体的“死空间”，不该设有盲管，在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫控制设备、多阀门控制设备、用以控制各个阀门的开关次第、系统吹除，以保证供气系统的安全、牢靠运行和避免“死区”构成而逗留污染物，下降气体纯度。

　　二、从气体检测方面考虑：

　　1、为了检测高纯气体的纯度和杂质含量，运送系统除了设置必要的接连检测仪器，如衡量水含量或许氧杂质含量等剖析仪外，还应设置定期取样用的检测采样口，以便按规矩时刻进行采样，剖析高纯气体中各种杂质的含量。

　　2、在亚微米级的集成电路生产中，要求供应10－9级的高纯气体，为了保证结束用气工艺设备处的气体纯度，使气体中的杂质含量（包含尘粒）控制在规矩的数值内，一般在设备前设置结束纯化设备，或结束高精度气体过滤器。

　　三、从经济性方面考虑：

　　管路规划需求考虑运送的距离，距离越长，本钱越高，危险也越高，一般较合理的规划流速为20ml/S，可燃性气体小于10ml/S,毒性/腐蚀性气体小于8ml/S，在用量规划方面，则需求考虑运用点的压力和管径巨细，前者与气体特性有关，后者运用点的管径一般为1/4”～3/8”。